미쓰비시가스화학, ArF 레지스터용의 신규 모노머 개발 작성자 : admin 2018-10-31 18:23 HIT 5367

 

미쓰비시가스화학은 반도체 프로세스의 미세화에 대응한 ArF(불화아르곤) 레지스터용 신규 모노머를 개발했다. 아다만탄의 알코올 유도체를 사용한 제품이며, ArF액침레지스터의 기재로서 뛰어난 특성을 가진다. 동사는 이미 ArF 모노머로 높은 쉐어를 가지고 있어 독자적인 산화 기술을 베이스로 한 유도체 및 모노머의 개발에 따라 차별화를 꾀한다.

 

씨스켐닷컴(2008-12-01)

 

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